린데는 습식공정 화학약품 분야의 선두 공급자인 Asia Union Electronic Chemical Corporation (AUECC)와의 합착벤처를 통해 전 세계 첨단산업에 전자장치 제조용 화학약품을 공급합니다. 각종 산, 용매, 산화제, 염기, 혼합산, 완충된 산화물 부식제(buffered oxide etchant, BOE) 등의 습식약품을 100 ppt 이하의 순도로 공급합니다.
AUECC는 태양전지 제조업체들이 가장 우선적으로 선택하는 습식약품 공급자이기도 합니다. AUECC의 제품들은 표면손상 수리(saw damage repair), 표면 요철화(surface texturisation), 표면 세정, PSG 제거 및 에지 분리(edge isolation)를 위한 광발전 습식공정도 지원합니다.
제조공장은 중국 상하이와 대만에 있으며 AUECC 제품은 전 세계에 유통됩니다.
지역에 따라 요건이 다르지만 AUECC가 공급하는 주요 화햑약품은 다음 표와 같습니다.
수성 물질 | 유기 물질 |
아세트산 | 아세톤 |
암모늄 플루오라이드 | 이소프로필 알코올 |
암모늄 하이드록사이드 | 에틸렌 글리콜 |
시트르산 | N-메틸, 2 피롤리딘 (nMP) |
염산 | 모노에탈올아민 |
불화수소산 | 프로필렌 글리콜 메틸 에티르 아세테이트 |
과산화수소 | 메틸 에틸 케톤 |
인산 | 테트라메틸암모늄 하이록사이드 |
질산 | 헥사메틸디실라잔 (Hexamethyldisilazane) |
수산화나트륨 | 디메틸 설폭사이드 |
수산화나트륨 | 에탄올 |
황산 | |
완충 산화물 부식제 (Buffered oxide etchants) |
아울러 상기 화학약품들의 특수 제형도 있습니다.
온사이트 화학약품 관리(On-Site chemical management, TCM)
AUECC는 첨단 기술 및 엔지니어링 지원을 제공합니다. 이것은 온사이트 약품관리 서비스(TCM)를 포함할 수 있습니다. TCM은 독립형으로 제공되거나, 총체적 토탈 가스 및 화학약품 관리(total gas and chemical management, TGCM) 서비스를 위해 가스 지원과 통합되어 제공됩니다.
또한 AUECC는 종합 물질관리(total materials management, TMM) 서비스도 제공합니다. 이것은 고객의 공정에 맞는 원활하고 꾸준한 물질 흐름을 보장하기 위해 검증된 기법을 이용합니다.
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