린데의 비용 및 환경 도전 과제는 고객을 충족시키는 데 도움을 주는 다양한 부가 가치 기술 제공입니다.
온사이트 불소 생산
린데는 삼불화질소(NF3) 및 육불화황(SF6) 등과 같은 지구 온난화의 높은 가능성이 있는 가스를 대체하기 위해 불소(F2) 분자의 사용을 개척했습니다. 이것은 현재 평면 패널 디스플레이 제조 시 화학 증착 공법(CVD) 체임버를 세척할 때 사용됩니다. 우리의 Generation-F® 온사이트 불소 발생기는 가장 효과적인 세척 가스를 제공하여, 세척 시간을 50% 이상 감소시키고, 도구 운전 정지 시간을 감소시키며, 최대 10%까지 라인 산출량을 증가시킵니다.
질소-생산
우리의 SPECTRA-N™ 질소 발생기는 TFT-LCD 제조업체가 필요로 하는 대량 초고순도 질소를 공급하는 가장 비용 효과적이고 신뢰할 수 있는 방법입니다. 가스 불순물 준위가 1ppb 미만인 SPECTRA-N은 기존의 발생기보다 전력을 적게 소모하고 설비 증가 요구 사항을 충족시키는 우수한 부하 조정 기능을 제공합니다.
다양한 제품 구성
린데는 모든 TFT-LCD 평면 패널 제조 공정을 지원하는 다음과 같은 다양한 가스 및 화학 제품을 제공합니다.
초고순도 벌크 가스
온사이트 가스 발생기
실린더 및 벌크 공급을 통한 전자 산업 특수 가스
특수 및 습식 공정 화학 제품
TFT-LCD 제조용 소재
벌크 가스 | 전자 산업용 특수 가스 |
질소 | 실란 |
수소 | 삼불화질소 |
헬륨 | 불소(온사이트 생산) |
산소 | 육불화황 |
알곤 | 암모니아 |
이산화탄소 | |
포스핀 혼합 가스 |
정확한 요구 사항은 공정 및 제조 지역에 따라 다릅니다
시스템 및 서비스 전문성
또한 린데는 고객이 핵심 산업에 집중하면서 지속적으로 운영할 수 있도록 다양한 전문 서비스를 제공합니다. 이러한 서비스에는 일괄 공급 설계 및 설치 서비스에서부터 가스 시스템의 종단간 관리에 이르기까지 확장되며, 다음을 포함합니다.
벌크 가스 보관 및 배포 시스템
벌크 특수 가스 시스템(BSGS)
가스 보관함 및 가스 배포 매니폴드
가스 및 화학 제품 총 관리