불소는 모든 챔버 건식세정 공정에 필요한 능동소자입니다. 린데의 Generation-F® 온사이트 불소생산기는 플라즈마 혹은 열 화학기상증착 (plasma-enhanced or thermal CVD) 툴 건식 챔버세정에서 1회 세정 당 비용이 동종 최저입니다. 불소는 비활성 성분이 세정 성능을 방해할 수 있는 NF3, ClF3, SF6 및 F2/N2 혼합가스 같은 불소함유 가스의 이상적인 대체제입니다.
Generation-F 시스템에서 공급되는 초고순도 불소가스는 가장 높은 세정성능과 CVD 툴 대비 생산성 이득을 제공하고, 지구온난화지수 0 덕분에 전력소비와 환경영향이 적습니다.
이 시리즈는 연간 1톤~수백톤의 모든 유량, 농도, 가스량 요건을 충족할 수 있는 모듈식 설계이기 때문에 단일 툴 설비는 물론 대규모 설비에도 적합합니다. Generation-F 온사이트 생산기는 다음과 같은 장점 및 특징이 있습니다:
안전하고 신뢰성 있는 고순도 불소 공급으로 생산성 향상
CVD 화학세정에서 3불화질소(NF3)나 6불화황(SF6) 같은 고GWP 가스들을 대신할 지속 가능한 대안
고용량 고압 저장시설 불필요
넓은 설치기반
현재 전 세계에 30개 이상의 Generation-F 시스템이 설치되어 있습니다.
다운로드 – 온사이트 불소생산
파일명 | 파일 유형 | 크기 |
비용 절감과 높은 생산성을 위한 청정 프로세스 | 853 KB | |
기후 친화적인 박막필름 PV | 353 KB | |
태양광발전 – PECVD 챔버 세정의 탄소 배출량 | 664 KB |
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